[发明专利]一种制备石墨烯的方法有效
申请号: | 201110026532.9 | 申请日: | 2011-01-25 |
公开(公告)号: | CN102161482A | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 刘云圻;陈建毅;黄丽平;武斌;薛运周;耿德超;于贵 | 申请(专利权)人: | 中国科学院化学研究所 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 100080 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备石墨烯的方法。该方法,包括如下步骤:1)将基底在非氧化性气氛中升温至800-1200℃保持10-20分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的基底上进行反应,反应完毕关闭碳源,在非氧化性气氛下冷却到室温得到所述石墨烯。该石墨烯可以为离散的纳米薄片,也可以为连续的石墨烯膜。在石英基底上生长石墨烯可以直接用于高性能透明导电电极。在带有二氧化硅层的硅基底上生长石墨烯,不需要转移可直接用于电子器件组装,工艺简单,并且和现有半导体工业兼容。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 石墨 方法 | ||
【主权项】:
一种制备石墨烯的方法,包括如下步骤:1)将基底在非氧化性气氛中升温至800‑1200℃,保持10‑30分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的基底上进行反应,反应完毕关闭碳源,在非氧化性气氛下冷却到室温得到所述石墨烯。
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