[发明专利]微机电系统镜片装置无效
申请号: | 201110026892.9 | 申请日: | 2011-01-25 |
公开(公告)号: | CN102608758A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 李秉衡;许义忠;余泰成 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种微机电系统镜片装置,其包括一个基板,一个驱动平台,一个镜片,及一个支撑柱。所述驱动平台设置于所述基板且可与所述基板实现相互电磁力作用,所述驱动平台的中央区域设有一个通孔,及多个围绕所述通孔的驱动块。所述镜片设置于所述驱动平台的上方,所述镜片朝向所述驱动平台的表面设置有与所述多个驱动块相对应的多个楔形块。所述支撑柱设置于所述基板上,且穿过所述驱动平台的通孔连接支撑所述镜片。施加电压于所述驱动平台与所述基板之间,所述驱动平台受电磁力作用相对于所述基板移动,所述驱动块作用于所述楔形块,使所述镜片相对于所述支撑柱偏转。 | ||
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【主权项】:
一种微机电系统镜片装置,其包括:一个基板;一个驱动平台,所述驱动平台设置于所述基板且可与所述基板实现相互电磁力作用,所述驱动平台的中央区域设有一个通孔,及多个围绕所述通孔的驱动块;一个镜片,所述镜片设置于所述驱动平台的上方,所述镜片朝向所述驱动平台的表面设置有与所述多个驱动块相对应的多个楔形块;及一个支撑柱,所述支撑柱设置于所述基板上,且穿过所述驱动平台的通孔连接支撑所述镜片;施加电压于所述驱动平台与所述基板之间,所述驱动平台受电磁力作用相对于所述基板移动,所述驱动块作用于所述楔形块,使所述镜片相对于所述支撑柱偏转。
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