[发明专利]连续扩散处理装置

摘要

本发明提供一种连续扩散处理装置，既能提高生产效率又能提高处理质量。所述连续扩散处理装置包括：输送台(50)，装载多张板状的被处理件；筒状的加热炉(1)，以直线状延伸；输送装置(2)，向加热炉(1)内依次送入输送台(50)，并将在加热炉(1)内输送的输送台(50)依次送出；加热装置(3)，对通过加热炉(1)内的输送台(50)上装载的被处理件进行加热；多个隔壁构件(7)，将从加热炉(1)内的送入部(11)到送出部(12)之间在输送方向上划分为多个处理区；以及给排气装置(4)，向每个处理区分别提供气体，并且在每个处理区分别排出气体。

主权项

一种连续扩散处理装置，其特征在于包括：输送台，装载多张板状的被处理件；筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；多个隔壁构件，设置在所述加热炉内，并将从所述加热炉内的所述送入部到所述送出部之间在输送方向上划分成多个处理区；以及给排气装置，向每个所述处理区分别提供气体，并在每个所述处理区分别排出气体。