[发明专利]一种改进的光束匀化装置的研制有效
| 申请号： | 201110030194.6 | 申请日： | 2011-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN102053372A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 尉昊赟;黄威;李岩 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京金恒联合知识产权代理事务所 11324 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种改进的光束匀化装置的研制，该装置可应用于激光退火或其他对光束有匀化要求的领域。其特征在于，通过引入预匀化环节、随机相位板以及透镜阵列和积分棒的有机结合，对光束进行多级匀化并消除相干性的影响，可以大大提高光束的匀化效果，同时又能够降低对透镜阵列的加工要求，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 光束 化装 研制 | ||
【主权项】：
用于光束匀化设备的预匀化环节装置，其特征在于包括：第一偏振分光镜(201)，用于把入射激光束分成第一部分光和第二部分光，其中第一部分光直接透射通过所述第一偏振分光镜(201)，第二部分光被所述第一偏振分光镜(201)反射偏折；光束能量匀化部分(203A、203B、204A、204B)，用于使所述第二部分光的光束截面中央原先能量密度较高的部分转移到边缘，而原先边缘部分能量密度较低的转移的中央，一个第二偏振分光镜(206)，用于使经过所述光束能量匀化部分处理的所述第二部分光与所述第一部分光汇合。
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