[发明专利]新型化合物以及含有该化合物的放射线敏感性组合物

摘要

本发明涉及一种新型化合物以及含有该化合物的放射线敏感性组合物。本发明的目的在于提供一种新化合物，该化合物的升华性低，作为光聚合引发剂使用时，具有高的放射线灵敏度，而且溶解性优异；以及提供可以形成具有高的表面硬度和透明性的固化膜的放射线敏感性组合物。本发明的第一方案是下述式(1)所示的化合物。本发明的第二方案是一种放射线敏感性组合物，该放射线敏感性组合物包含[A]作为光聚合引发剂的上述化合物，以及[B]具有乙烯基不饱和双键的聚合性化合物。上述放射线敏感性组合物优选进一步含有[C]碱可溶性树脂。

主权项

1.一种下述式(1)所示的化合物，式(1)中，R¹是碳原子数为1～12的烷基、碳原子数为4～20的环烷基、碳原子数为1～6的卤代烷基、2-呋喃基、2-糠基、2-噻吩基、2-噻吩甲基、苯基或萘基，该苯基或萘基的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或卤原子取代；R²和R³各自独立地是碳原子数为1～12的烷基或者碳原子数为3～10的环烷基；R⁴是氢原子、碳原子数为1～12的烷基、碳原子数为1～12的烷氧基、卤原子、2-呋喃基、2-糠基、2-噻吩基或者2-噻吩甲基；R⁵是磺基或者SO₂R⁶、P(R⁷)₂、PO(R⁸)₂或者Si(R⁹)₃所示的基团；R⁶是氢原子、甲基、碳原子数为2～12的烷基、苯基或者萘基，上述碳原子数为2～12的烷基的氢原子的一部分或者全部可以被由羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、碳原子数为1～6的酰氧基、苯甲酰氧基和碳原子数为1～20的酰基构成的群组中选出的至少1种基团取代，上述苯基或者萘基的氢原子的一部分或者全部可以被碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或者卤原子取代；R⁷、R⁸和R⁹各自独立地是碳原子数为1～12的烷基、苯基或者萘基，该苯基或者萘基的氢原子的一部分或者全部可以被碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或者卤原子取代。