[发明专利]一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置及其变温方法

摘要

本发明属于光学电子器件技术领域，具体为一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置及变温方法。该装置包括气瓶，气阀，电磁阀，杜瓦瓶，样品室，样品台，加热电阻器，温度传感器，温度控制器等。样品室分成上腔体和下腔体两部分，下腔体呈长方体，上腔体侧面呈梯形，在上腔体的两侧斜面上开有光学窗口。所述变温方法分为高温模式和低温模式两种。在低温模式中，利用常温气体加热低温液体产生低温制冷气体，将低温制冷气体经隔热输气管道注入样品室，使样品台达到设定低温。在高温模式中，通过加热电阻器加热，使样品台达到设定高温。本装置制备方便，成本低廉；变温方法效果良好，实用性强，可用于各类椭圆偏振光谱测量。

主权项

一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置，其特征包括依次连接的如下部件：气瓶，气阀，电磁阀，杜瓦瓶，样品室，样品台，温度传感器，加热电阻器，温度控制器；其中，所述气瓶中装载常温工作气体，工作气体经由输气管导入装有制冷液体的所述杜瓦瓶中，所述气阀和所述电磁阀设置在气瓶与杜瓦瓶之间的输气管道上；工作气体输入到低温液体后产生的低温制冷气体经由一个有隔热层包裹的输气管注入到所述样品室中，对样品进行制冷；所述样品室采用固体材料制成，分成下腔体和上腔体两部分，上腔体的下底面呈长方形,侧面呈等腰梯形，梯形的角度依据入射光的入射角而定；在上腔体的两侧斜面以及上顶面上分别开有光学窗口,其中，两侧的光学窗口分别用于入射光和反射光的进出，顶面的光学窗口用于光路准直；光学窗口材料为各向同性的透明材料；在上腔体的梯形侧面中央开有圆孔，用于抽真空或充填保护气体；下腔体呈长方体，腔内尺度及壁厚与上腔体相匹配；在下腔体开口一面的腔壁中央刻有凹槽，凹槽部分用来填放橡胶密封圈；在下腔体两个侧面中央分别开有圆孔，用于低温制冷气体的进出，在剩下的侧面之一开两个圆孔，分别用于所述温度传感器导线以及所述加热电阻器导线的进出；下腔体用于放置样品台密封模块；所述样品台由金属制成，台面部分为金属板，台面上侧供放置样品，下侧配置数片金属叶片，在紧贴台面下侧，装有所述加热电阻器；在所述样品台周围包裹隔热材料，制成具有保温作用的样品台密封模块，该样品台密封模块留有供输气管道及所述温度传感器和所述加热电阻器导线进出的开孔；所述温度控制器自动获得样品室温度，样品室温度由内置温度传感器探测；通过探测温度与预设温度比较，温度控制器对控制工作气体流量的电磁阀，或者控制加热电阻器的电子开关进行接通或断开操作，实现对温度的自动控制温度。