[发明专利]一种ITO靶材的成型方法有效
| 申请号： | 201110031652.8 | 申请日： | 2011-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102173816A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 骆树立;王建堂;李庆丰;骆如河;骆如田;骆胜华;骆胜磊 | 申请（专利权）人： | 河北鹏达新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;C04B35/457;C04B35/01 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所 11226 | 代理人： | 常玉明;张兰海 |
| 地址： | 057250*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种ITO靶材的成型方法，其特征是：有下述料浆制备、振动注浆、脱模干燥、冷等静压、烧结步骤完成：料浆的原料为共沉淀法制备的ITO粉或分别制备的ITO粉，加去离子水，加适量的分散剂和粘结剂，搅拌均匀后过300目筛，制成重量浓度为30-80％的料浆；在注浆的压力为0.1-3MPa、工作台的振动频率为1000-5000Hz下将料浆注入模具中，注浆时间为10-120分钟；脱模后的对坯体干燥，干燥温度为20-100℃；干燥后的毛坯经过冷等静压，压力范围100-350MPa；在常压下纯氧气氛下烧结，温度为1450--1650℃，保温时间为3-15小时。本发明可有效解决大尺寸的ITO靶材的应力问题和密度不均匀问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 成型 方法 | ||
【主权项】：
一种ITO靶材的成型方法，其特征是：由下述料浆制备、振动注浆、脱模干燥、冷等静压、烧结步骤完成：1)料浆制备：料浆的原料为共沉淀法制备的ITO粉或分别制备的ITO粉，加去离子水，加适量的分散剂和粘结剂，搅拌均匀后过300目筛，制成重量浓度为30‑80％的料浆；2)振动注浆：在注浆的压力为0.1‑3MPa、工作台的振动频率为1000‑‑5000Hz下将料浆注入模具中，注浆时间为10‑120分钟；3)脱模干燥：脱模后的对坯体干燥，干燥温度为20‑100℃；干燥形式为自然干燥、微波加热干燥或烘箱干燥；4)冷等静压：干燥后的毛坯经过冷等静压，压力范围100‑350MPa；5)烧结：在常压下纯氧气氛下烧结，温度为1450‑‑1650℃，保温时间为3‑15小时。
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