[发明专利]多重图案化的方法

摘要

本发明公开了一种集成电路存储器，包括一组线，每一条线具有在一第一区中平行X方向线部分物以及在一第二区中平行Y方向线部分物。第二区和第一区是互相分隔开的。X方向线部分物的长度实质上长于Y方向线部分物的长度。X方向和Y方向线部分物各自具有第一间距和第二间距，且第二间距为第一间距的3倍或3倍以上。接触区(contact pickup area)位于Y方向线部分物。在一些实施例中，这些线包括字线或位线。可利用多重图案化方法制作材料线，并接着作出平行X方向线部分物和平行Y方向线部分物，以制作出存储器。

主权项

一种集成电路存储器，包括：一组线，该组线中的每一条线具有在一第一区中多个平行X方向线部分物，以及在一第二区中多个平行Y方向线部分物，该第二区和该第一区相互分隔开；该些X方向线部分物的长度实质上长于该些Y方向线部分物的长度；该些X方向线部分物和该些Y方向线部分物分别具有多个第一间距和第二间距，且该第二间距大于该第一间距；以及位于该些Y方向线部分物的多个接触区。