[发明专利]电磁生物传感器装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201110033186.7 | 申请日： | 2011-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102621188A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 陈思 | 申请（专利权）人： | 北京慈欣生物科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N33/543;H01L27/22;H01L21/82 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100086 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电磁生物传感器，包括：制作在单晶硅衬底上的开关器件，制作在开关器件上受开关器件控制的磁隧道结器件，形成在所述磁敏传感器上方的钝化层，和形成在所述钝化层上的聚合物绝缘层。本发明进一步提供一种电磁生物传感器装置及其制作方法。根据本发明的方法，利用压焊技术将芯片焊接在印刷电路板上，节省了在聚合物绝缘层上形成触点的工艺步骤，无需在聚合物绝缘层上提供金属层并对金属层进行刻蚀的复杂工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 生物 传感器 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电磁生物传感器，包括：制作在单晶硅衬底上的开关器件，制作在开关器件上受开关器件控制的磁隧道结器件，形成在所述磁敏传感器上方的钝化层，和形成在所述钝化层上的聚合物绝缘层。
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