[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

摘要

本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法。当从基板载置部接收基板时可靠地检测出基板的姿势是否为异常状态。使所述叉部件(3A)沿着基体(31)前进，并且相对于保持晶片(W)的支承销(73)上升，从而在叉部件(3A)上接收该支承销(73)上的晶片(W)。此时，通过在所述各个保持爪(30A～30D)上设置的变形传感器(4A～4D)检测出当从上方向保持爪(30A～30D)上施加负荷时该保持爪(30A～30D)的变形量。根据各个变形传感器的变形量来判断晶片(W)的姿势是否正常，当判断晶片W的姿势为异常时，禁止所述叉部件(3A)的后退。

主权项

一种基板输送装置，其特征在于，包括：构成为通过驱动部自由地升降和进退的、以围绕基板的周围的方式设置的保持框；从该保持框的内缘分别向内侧突出，且沿着该内缘相互隔开间隔地设置的用于载置所述基板的背面侧周边部的三个以上的保持部；设置在这些保持部的各个上的、用于检测从上方向保持部施加负荷时该保持部的变形量的变形传感器；使所述保持框前进，使所述基体相对于所述基板载置部相对地上升，然后接收在其上载置有基板的基板载置部上的基板时，根据各个变形传感器的变形量判断基板的姿势是否正常的判断单元；和当判断基板的姿势为异常时，禁止所述保持框后退的单元。