[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器有效
| 申请号： | 201110035699.1 | 申请日： | 2011-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102169847A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 关原一敏 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;G03F1/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种防尘薄膜组件收纳容器，其即使在将把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件等任意一个所构成的功能性零件安装于收纳容器时，也能保持容器内部洁净。本发明的防尘薄膜组件收纳容器包括：防尘薄膜组件收纳容器本体(20)，用于装载防尘薄膜组件；及盖体，覆盖于防尘薄膜组件，且与防尘薄膜组件收纳容器本体(20)在边缘部相嵌合卡定。该防尘薄膜组件收纳容器特征为：通过螺纹联接机构将由把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件所构成的功能性零件安装于树脂制的容器本体(20)或盖体，且该螺纹联接机构的外螺纹及内螺纹的表面不露出于该容器本体(20)或盖体的内侧。 | ||
| 搜索关键词： | 防尘 薄膜 组件 收纳 容器 | ||
【主权项】：
一种防尘薄膜组件收纳容器，其包括：防尘薄膜组件收纳容器本体，其用于装载防尘薄膜组件；及防尘薄膜组件收纳容器盖体，其用于覆盖防尘薄膜组件，且与防尘薄膜组件收纳容器本体在边缘部相嵌合卡定；其特征在于，通过螺纹联接机构将由把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件的任意一个所构成的功能性零件安装于树脂制的防尘薄膜组件收纳容器本体或防尘薄膜组件收纳容器盖体，且该螺纹联接机构的外螺纹及内螺纹的表面不露出于该防尘薄膜组件收纳容器本体或防尘薄膜组件收纳容器盖体的内侧。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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