[发明专利]晶圆压膜机离形膜保护机构

摘要

本发明是有关于一种晶圆压膜机离形膜保护机构，其包含一供晶圆置放的下腔体；一位于下腔体上方并可相对下腔体上下移动以呈现接近或远离的上腔体，且上腔体开设有多个对应下腔体的气孔；一供离形膜得以延展于上腔体与下腔体间，并可持续替换离形膜区段的离形膜输送装备，该离形膜输送装备包括一做为卷捆未经使用离形膜的输送滚轮，及一卷收使用过后离形膜的收料滚轮；以及一与上腔体的气孔导通，并得吹气加压带动离形膜贴附于晶圆及胶膜表面达到压膜及溢胶粘除的吹气装置。藉此，本发明可以对执行压膜作业的晶圆进行溢胶的粘附及排除，避免晶圆上的溢胶粘附于压膜机具，进而影响后续晶圆进行压膜作业的良率。

主权项

一种晶圆压膜机离形膜保护机构，其特征在于该晶圆压膜机离形膜保护机构包含：一供晶圆置放的下腔体；一位于下腔体上方并相对下腔体上下移动以呈现接近或远离的上腔体，且该上腔体开设有多个对应下腔体的气孔；一供离形膜得以延展于上腔体与下腔体间，并持续替换离形膜区段的离形膜输送装备，该离形膜输送装备包括一做为卷捆未经使用离形膜的输送滚轮，及一卷收使用过后的离形膜的收料滚轮；以及一与上腔体的气孔导通，并吹气加压带动离形膜贴附于晶圆及胶膜表面达到压膜及溢胶粘除的吹气装置。