[发明专利]半导体结构及其制造方法无效
申请号: | 201110037702.3 | 申请日: | 2011-02-11 |
公开(公告)号: | CN102569365A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 方国龙;郭奇文;郭政达 | 申请(专利权)人: | 隆达电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/30 | 分类号: | H01L29/30;H01L29/34;H01L21/02;H01L33/02;H01L33/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体结构,包括:一基板;一个或多个半导体元件层,形成于该基板上;以及一个或多个晶格破坏区,形成于该基板表面,位于该等半导体元件层之间。本发明另提供一种半导体结构的制造方法。本发明可减少应力形变,致增加半导体元件例如发光二极管(LED)的发光波长均一性,达到增加良率产出的目的。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,包括:一基板;一个或多个半导体元件层,形成于该基板上;以及一个或多个晶格破坏区,形成于该基板表面,位于该等半导体元件层之间。
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