[发明专利]参数可调式大口径平面光学元件抛光夹具装置

摘要

参数可调式大口径平面光学元件抛光夹具装置，涉及一种抛光夹具装置。设有质量块、夹具平板、上下液压活塞装置、液压输油与回油装置、压力传感器、伺服放大器和工控机；质量块套入夹具平板上表面中心轴，上下液压活塞装置通过隔离板隔开，上下液压活塞装置通过吸附基膜分别吸附在夹具平板下表面和工件上表面，上下液压活塞装置均设液压缸、液压油、活塞、推杆、密封圈、弹簧、输油孔和回油孔，推杆下端通过弹簧与活塞相连，推杆上端连结吸附基模的基体，输油孔和回油孔与液压输油与回油装置的输油孔和回油孔连接，传感器埋入抛光垫内，传感器压力信号输出端经伺服放大器后输入到数据采集卡，数据采集卡安装在工控机上。结构简单且实用。

主权项

参数可调式大口径平面光学元件抛光夹具装置，其特征在于设有质量块、夹具平板、上液压活塞装置、下液压活塞装置、液压输油与回油装置、压力传感器、伺服放大器和工控机；质量块套入夹具平板上表面中心轴，上液压活塞装置和下液压活塞装置通过隔离板隔开，上液压活塞装置通过吸附基膜吸附在夹具平板下表面，下液压活塞装置通过吸附基膜吸附在工件上表面，上液压活塞装置和下液压活塞装置均设有液压缸、液压油、活塞、推杆、密封圈、弹簧、输油孔和回油孔，推杆下端通过弹簧与活塞相连，推杆上端连结吸附基模的基体，输油孔和回油孔与液压输油与回油装置的输油孔和回油孔连接，上液压活塞装置和下液压活塞装置的输油孔用于液压油的输入，上液压活塞装置和下液压活塞装置的回油孔用于液压油的回流；液压输油与回油装置提供双向液压活塞装置的输油与回油；通过调整液压输油与回油装置的油压，将液压油输入到上液压活塞装置和下液压活塞装置，在上液压活塞装置和下液压活塞装置中，液压油的液压变化推动活塞移动，弹簧伸缩，调整施加在元件表面上的压强；传感器埋入抛光垫内，传感器压力信号通过伺服放大器后输入到数据采集卡，数据采集卡安装在工控机上。