[发明专利]多层复合敏感膜光纤氢气传感探头及其制作方法有效
| 申请号： | 201110038891.6 | 申请日： | 2011-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102175619A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 杨明红;代吉祥;程芸 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/14 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张安国 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种多层复合敏感膜光纤氢气传感探头及其制作方法。该探头由镀有氢气敏感薄膜(10)的D型光纤光栅(6)与具有同样中心波长、但没有镀膜的参考光栅(5)对接熔接构成；所述的镀有氢气敏感薄膜(10)的D型光纤光栅(6)，由经过侧边抛磨处理的光纤光栅上采用磁控溅射镀SiO2薄膜(13)、再镀SiO2和Pd的混合膜(14)、然后再镀Pd薄膜(15)构成；所述的SiO2薄膜厚度为1-100nm，SiO2和Pd的混合膜厚度为1-100nm，Pd薄膜厚度为10nm-20μm。其制法是将对氢气敏感的薄膜与抗电磁干扰D型光纤光栅结合起来形成光纤氢气传感器探头。采用磁控溅射、热处理和温度补偿技术，使传感器的准确性和灵敏度得到极大地提高，并且传感探头体积大大减小，有利于实现光纤氢气传感器的微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 复合 敏感 光纤 氢气 传感 探头 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种多层复合敏感膜光纤氢气传感探头，其特征在于，该探头由镀有氢气敏感薄膜(10)的D型光纤光栅(6)与具有同样中心波长、但没有镀膜的参考光栅(5)对接熔接构成；所述的镀有氢气敏感薄膜(10)的D型光纤光栅(6)，由经过侧边抛磨处理的光纤光栅上采用磁控溅射镀SiO2薄膜(13)、再镀SiO2和Pd的混合膜(14)、然后再镀Pd薄膜(15)构成；所述的SiO2薄膜(13)的厚度为1‑100nm，所述的SiO2和Pd的混合膜(14)的厚度为1‑100nm，所述的Pd薄膜(15)的厚度为10nm‑20μm。
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