[发明专利]半导体装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201110039859.X 申请日: 2007-07-20
公开(公告)号: CN102136482A 公开(公告)日: 2011-07-27
发明(设计)人: 秋元健吾 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/8246;H01L27/105
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 吴丽丽
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种半导体装置及其制造方法,该半导体装置包括:晶体管,该晶体管包括:沟道形成区域、源极区域、漏极区域、栅极绝缘膜、以及栅电极;第一层间绝缘膜,形成在晶体管上;第一电极,形成在第一层间绝缘膜上,电连接到源极区域和漏极区域之一方;第二电极,形成在第一层间绝缘膜上,电连接到源极区域及漏极区域之另一方;第二层间绝缘膜,形成在第一层间绝缘膜、第一电极、以及第二电极上;第一布线,形成在第二层间绝缘膜上,电连接到第一电极;以及第二布线,形成在第二层间绝缘膜上,不电连接到第二电极,其中,在第二电极中形成有断开区域,第二布线形成为到达断开区域,以使第二布线不电连接到第二电极。
搜索关键词: 半导体 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,包括:晶体管,包括:沟道形成区域、源极区域、漏极区域、栅极绝缘膜、以及栅电极;第一层间绝缘膜,形成在所述晶体管上;第一电极,形成在所述第一层间绝缘膜上,并且电连接到所述源极区域和所述漏极区域之一方;第二电极,形成在所述第一层间绝缘膜上,并且电连接到所述源极区域及所述漏极区域之另一方;第二层间绝缘膜,形成在所述第一层间绝缘膜、所述第一电极、以及所述第二电极上;第一布线,形成在所述第二层间绝缘膜上,并且电连接到所述第一电极;以及第二布线,形成在所述第二层间绝缘膜上,并且不电连接到所述第二电极,其中,在所述第二电极中形成有断开区域,并且所述第二布线形成为到达所述断开区域,以使所述第二布线不电连接到所述第二电极。
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