[发明专利]一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器有效
申请号: | 201110039988.9 | 申请日: | 2011-02-16 |
公开(公告)号: | CN102081073A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 张勇;张建业;王影花;王进;张晶园;宋晓慧;姜为华;方静;唐建文;李昕;刘君华 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01N27/66 | 分类号: | G01N27/66;G01K7/40 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 汪人和 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器,包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底;第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成;第三电极由板面设有盲孔的收集极构成;该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器结构简单,尺寸小,成本低,检测气体灵敏度高,线性度好,准确度高,适合于推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 薄膜 电极 传感器 | ||
【主权项】:
一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器,其特征在于:包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极,所述第一电极由内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底以及设有透气孔的电极构成;第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成;第三电极由板面设有盲孔的收集极构成;该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。
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