[发明专利]氧化铝光子晶体异质结及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化铝光子晶体异质结及其制备方法。异质结为由两种不同长度的周期层各自叠加后无缝接合构成的氧化铝薄膜，其中，周期层由串接的直孔与二分叉孔组成；方法为先将铝片置于草酸溶液中于第一周期性电压下氧化100～200个周期，其中，第一周期性电压的波形为，电压先于0.5min期间按照正弦波规律自VL升高至VH，再于0.5min期间由VH线性降低到0.71VH，接着于4min期间由0.71VH线性降低到VL，其取值分别为30V≤VH≤100V且0.4VH≤VL＜0.71VH，再对其进行与第一周期性相同波形和周期的第二周期性氧化，其电压的上、下限分别为p×VH和p×VL，p的取值分别为0.3≤p＜1或1＜p≤3.3，得带两种周期层的氧化铝片，去掉背面多余的铝后制得目标产物。它可广泛地用于各种光子集成线路中。

主权项

一种氧化铝光子晶体异质结，由氧化铝薄膜组成，其特征在于：所述薄膜的厚度为60～220μm，其由两种不同长度的周期层各自叠加后无缝接合构成，所述周期层由串接的直孔与二分叉孔组成；所述两种不同长度的周期层中的第一种长度的周期层的层数为100～200层，每层中的直孔的孔直径为20～180nm、孔长为100～1000nm，二分叉孔的孔直径为20～180nm、孔长为20～200nm、二分叉孔之间的角度为50～70度；所述两种不同长度的周期层中的第二种长度的周期层的层数为100～200层，每层中的直孔的孔直径为20～80nm、孔长为60～500nm，二分叉孔的孔直径为20～80nm、孔长为20～100nm、二分叉孔之间的角度为50～70度，或者每层中的直孔的孔直径为40～180nm、孔长为300～1000nm，二分叉孔的孔直径为40～180nm、孔长为60～200nm、二分叉孔之间的角度为50～70度。