[发明专利]一种石英玻璃坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201110040454.8 | 申请日： | 2011-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN102453956A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 王春来;周勇;渥美崇 | 申请（专利权）人： | 杭州先进石英材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 黄美娟;王兵 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚的坩埚基体的内表面上涂敷有理论厚度为50~500μm的透明涂层，所述透明涂层是通过熔融掺杂有碱土金属元素的石英砂制备得到，所述碱土金属元素是指镁元素、钡元素、锶元素或钙元素，所述碱土金属元素来自于氧化钡、碱土金属的碱、碱土金属的盐或碱土金属的碱与碱土金属的盐任意比例的混合物，所述掺杂有碱土金属元素的石英砂中碱土金属元素的质量百分含量为400~2000ppm。本发明还公开了所述石英玻璃坩埚的制备方法。本发明提供的石英玻璃坩埚具有较高的耐久使用性，坩埚使用过程中内表面透明涂层不易发生脱落剥离等对拉晶过程造成不利影响的现象，拉制单晶硅的无位错比例高，拉晶效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种石英玻璃坩埚，所述石英玻璃坩埚包括坩埚基体，其特征在于所述石英玻璃坩埚的坩埚基体的内表面上涂敷有理论厚度为50～500μm的透明涂层，所述透明涂层是通过熔融掺杂有碱土金属元素的石英砂制备得到，所述石英砂为天然石英砂、合成石英砂或两者以任意比例的混合，所述碱土金属元素是指镁元素、钡元素、锶元素或钙元素，所述碱土金属元素来自于氧化钡、碱土金属的碱、碱土金属的盐或碱土金属的碱与碱土金属的盐任意比例的混合物，所述掺杂有碱土金属元素的石英砂中碱土金属元素的质量含量为400～2000ppm，所述内表面是指坩埚基体的底部内表面、坩埚基体的壁部内表面或坩埚基体的全部内表面。
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