[发明专利]一种基于微系统集成技术的MEMS-CMOS SAF一体化芯片

摘要

本发明涉及的是一种基于微系统集成技术设计的MEMS-CMOS安全、解保与发火(Safe，Arm and Fire)一体化芯片。本发明体积小巧、可靠性高、无可动结构、易于批量生产，并且实现了基本安全、解保与发火系统全部功能的均集成在一片基于微系统集成技术的引信用MEMS-CMOS安全、解保与发火一体化芯片上。本发明包括保险与失效控制微组件，启动、计时、逻辑安全、发火控制与失效控制微组件与微发火件。芯片可以实现安全、解保、发火与失效四种功能，可以设定发火方式，并预设发火延期时间，便于批量生产，通用性好。

主权项

一种MEMS‑CMOS安全、解保与发火(Safe，Arm and Fire)一体化芯片，其组成是：保险与失效控制微组件，启动、计时、逻辑安全、发火控制与失效控制微组件与微发火件。其特征是：平时状态下，保险与失效控制微组件中的保险开关将微发火件短路，芯片处于安全状态，上电后开关断开，微发火件被接入回路处于待发状态。任务开始前对启动、计时、逻辑安全、发火控制与失效控制微组件进行装定，确定起爆方式、延期方式与延期时间窗口，上电后该微组件控制芯片启动并开始计时，当预设发火时间窗口到达后经逻辑安全电路输出一个发火控制信号(同时计时电路继续计时)启动与外围相连的发火能量传递控制开关，能量被传递到微发火件，微发火件起爆。若微发火件未按预定起爆方式与起爆时间起爆，当计时电路计时至失效时间窗口时，发出失效信号，保险与失效控制微组件中的实效开关作用彻底断开微发火件的能量来源通路，芯片失效。