[发明专利]基于柱透镜光路的线扫描差动共焦测量装置有效
| 申请号： | 201110041536.4 | 申请日： | 2011-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102175143A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;唐建波;李镁钰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于柱透镜光路的线扫描差动共焦测量装置，属于微观测量技术领域。它解决了差动共焦检测技术在进行三维测量时，测量效率低的问题。激光器产生的激光束通过聚焦透镜汇聚于针孔，经滤波后经过准直扩束透镜扩束再经矩形光阑入射至第一分光镜，第一分光镜的透射光束入射至探测聚焦柱透镜，在探测聚焦柱透镜的像方焦平面上形成线聚集；由被测样本反射后的光束经过探测聚焦柱透镜透射后，经第一分光镜的光束入射至第二分光镜，第二分光镜的透射光束经过第一收集柱透镜后线聚焦至第一线阵点探测器的光敏面上；第二分光镜的反射光束经过第二收集柱透镜后线聚焦至第二线阵点探测器的光敏面上。本发明适用于差动共焦检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 透镜 扫描 差动 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于柱透镜光路的线扫描差动共焦测量装置，它包括在同轴光路上依次设置的激光器(1)、聚焦透镜(2)、针孔(3)和准直扩束透镜(4)，其特征在于：它还包括矩形光阑(5)、第一分光镜(6‑1)、第二分光镜(6‑2)、探测聚焦柱透镜(7)、第一收集柱透镜(8‑1)、第二收集柱透镜(8‑2)、第一线阵点探测器(9‑1)和第二线阵点探测器(9‑2)，激光器(1)产生的激光束通过聚焦透镜(2)汇聚于针孔(3)，经针孔(3)滤波后的点光源经过准直扩束透镜(4)扩束后，再经矩形光阑(5)入射至第一分光镜(6‑1)，经第一分光镜(6‑1)透射后的透射光束入射至探测聚焦柱透镜(7)，并在探测聚焦柱透镜(7)的像方焦平面上形成线聚集，用于对设置于探测聚焦柱透镜(7)的像方焦平面上的被测样本(10)进行线照明；由被测样本(10)反射后的光束经过探测聚焦柱透镜(7)透射后，再经第一分光镜(6‑1)反射的光束入射至第二分光镜(6‑2)，第二分光镜(6‑2)的透射光束经过第一收集柱透镜(8‑1)后线聚焦至第一线阵点探测器(9‑1)的光敏面上，第一线阵点探测器(9‑1)设置于第一收集柱透镜(8‑1)的焦前位置；第二分光镜(6‑2)的反射光束经过第二收集柱透镜(8‑2)后线聚焦至第二线阵点探测器(9‑2)的光敏面上，第二线阵点探测器(9‑2)设置于第二收集柱透镜(8‑2)的焦后位置；第一线阵点探测器(9‑1)和第二线阵点探测器(9‑2)的离焦量相等。
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