[发明专利]一种片上集成电感无效
申请号: | 201110042201.4 | 申请日: | 2011-02-22 |
公开(公告)号: | CN102169868A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 李小进;祝文韬;石艳玲;王勇;蔡静;叶红波;胡少坚 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学;上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01F17/00 |
代理公司: | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人: | 董红曼 |
地址: | 200062 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种片上集成电感,包括电感线圈、金属层、隔离层;相邻两层电感线圈之间设有至少一层金属层;电感线圈与金属层之间设有隔离层;相邻两层电感线圈从俯视方向上看,互相偏移不重合;电感线圈、金属层之间通过穿孔连接。本发明片上集成电感降低了电感导线间的寄生电容,在不增加芯片面积的前提下,提高了电感的品质因子,扩展了电感的频率带宽。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 电感 | ||
【主权项】:
一种片上集成电感,其特征在于,包括电感线圈、金属层、隔离层;相邻两层电感线圈之间设有至少一层金属层;所述电感线圈与金属层之间设有隔离层;相邻两层电感线圈从俯视方向上看,互相偏移不重合;所述电感线圈、金属层之间通过穿孔连接。
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