[发明专利]用曲面光学元件来照射被检查物体的系统和方法无效
| 申请号： | 201110044246.5 | 申请日： | 2011-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102162926A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | D·夏皮罗弗 | 申请（专利权）人： | 卡姆特有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B27/09;G02B27/00;G02B5/10;G01D21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 马浩 |
| 地址： | 以色列米格*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种照射和集光单元可包括：至少具有第一轴的半柱面反射器；平行于第一轴的线光源；平行于第一轴的分束器；其中分束器和线光源被设置在半柱面反射器和被检查物体之间；其中线光源被安排为在第一角度范围上照射半柱面反射器；其中半柱面反射器被安排为将来自线光源的光聚集到被检查物体上以形成平行于第一轴的线状光；以及其中分束器被安排为将从被检查物体反射的在第二角度范围内的光射向集光器。 | ||
| 搜索关键词： | 曲面 光学 元件 照射 检查 物体 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种照射和集光单元，包括：至少具有第一轴的半柱面反射器；平行于第一轴的线光源；平行于第一轴的分束器；其中分束器和线光源被设置在半柱面反射器和被检查物体之间；其中线光源被安排为在第一角度范围上照射半柱面反射器；其中半柱面反射器被安排为将来自线光源的光聚集到被检查物体上以形成平行于第一轴的线状光；以及其中分束器被安排为将从被检查物体反射的在第二角度范围内的光射向集光器。
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