[发明专利]微通道芯片及微分析系统有效
申请号: | 201110044614.6 | 申请日: | 2011-02-18 |
公开(公告)号: | CN102207511A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 小野航一;中尾智贵;庭山晃 | 申请(专利权)人: | 恩普乐股份有限公司 |
主分类号: | G01N35/00 | 分类号: | G01N35/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了能够涂覆出均匀且薄的无机氧化膜,而且防止离子性的疏水物质吸附于无机氧化膜的表面的微通道芯片。在该微通道芯片(10)中,下侧平板部件(12)的通道(12a)以及上侧平板部件(14)的各个贯穿孔(14a)、(14b)的内壁面都涂覆了SiO2膜(16)。SiO2膜(16)包括:在与树脂基板相接的部分C原子的含量多的最底层(16a)和在露出到通道表面的部分C原子几乎不存在的表层(16b)两层。 | ||
搜索关键词: | 通道 芯片 微分 系统 | ||
【主权项】:
一种微通道芯片,是对通道的内壁面涂覆了无机氧化膜的树脂基板的微通道芯片,其特征在于,所述无机氧化膜由多层构成,露出到通道表面的表层的碳原子或氮原子的含量少于与所述树脂基板相接的最底层的碳原子或氮原子的含量。
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