[发明专利]太阳能电池的选择性制绒方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的选择性制绒方法，首先在单晶硅晶圆表面制作掩膜，将单晶硅晶圆的正面用于接触正面电极的部分以及单晶硅晶圆的整个背面覆盖；然后进行碱制绒，使所述单晶硅晶圆表面未覆盖掩膜的部分形成金字塔状的绒面；最后去除掩膜。本发明对单晶硅片的背面，以及正面用于制作BusBar和Finger的区域采用掩膜保护，不进行碱制绒，而做预清洗或酸制绒，其他区域使用碱制绒，通过这种选择性制绒的方式既不影响电池的受光面积，在保证了绒面反射率的同时，又降低了接触电阻，从而可提高太阳能电池的光电转换效率。

主权项

一种太阳能电池的选择性制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、在单晶硅晶圆表面制作掩膜，将单晶硅晶圆的正面用于接触正面电极的部分以及单晶硅晶圆的整个背面覆盖；步骤二、对制作有掩膜的单晶硅晶圆进行碱制绒，使所述单晶硅晶圆表面未覆盖掩膜的部分形成金字塔状的绒面；步骤三、去除掩膜。