[发明专利]一种多次腔外频率变换的紫外激光器

摘要

本发明涉及一种多次腔外频率变换的紫外激光器，属于激光技术领域所涉及的一种激光器，包括泵浦源、传能光纤、耦合系统、基波增益介质晶体、谐振腔反射镜、聚焦镜、反射式聚焦镜、三次谐波非线性晶体，利用半导体泵浦源对基波增益介质晶体进行泵浦，基波增益介质晶体在谐振腔的选模作用下形成受激辐射的基波光束输出，在调制器的作用下形成脉冲激光输出，利用聚焦镜使基波激光聚焦到二次谐波晶体中，产生倍频激光，倍频激光和剩余的基波激光被聚焦到三次谐波晶体中进行和频，产生三次谐波激光，剩余的基波激光和二次谐波激光再次被聚焦到第二块和频晶体中进行和频，再次产生三次谐波激光输出，通过两次频率变换，提高基波激光到三次谐波激光的转换率。

主权项

一种多次腔外频率变换的紫外激光器，其特征在于：半导体泵浦模块(1)输出泵浦光，经过传能光纤(2)传输到耦合系统(3)(4)中，经过(3)和(4)的准直聚焦作用，将泵浦光聚焦到基波增益介质晶体(7)中，基波增益介质晶体(7)开始形成自发辐射，通过(5)(6)和(9)构成基波的激光谐振腔的选模作用，最终形成基波激光输出，通过调制器(8)可形成脉冲的基波激光输出，基波输出的激光经过聚焦镜(10)将基波聚焦到倍频晶体(11)中，形成二次谐波激光输出，二次谐波激光和剩余的基波激光被反射聚焦镜(12)聚焦到三次谐波产生晶体中形成三次谐波激光输出，剩余的基波激光和二次谐波激光再次通过反射聚焦镜(14)再次被聚焦到第二块三次谐波产生晶体(15)中再次形成三次谐波激光输出。