[发明专利]用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法有效
| 申请号： | 201110047072.8 | 申请日： | 2011-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN102109676A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 朱菁;胡中华;杨宝喜;陈明;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板中一个分区的初始位相赋值；⑤采用迭代算法并进行离散化处理，得到该分区的位相分布；⑥逐一对每一个分区重复步骤④和步骤⑤，得到每个分区的位相分布，并组合在一起得到整体位相分布；⑦设计结果的评估。本发明设计的光学位相板具有对入射光束的位置、尺寸、形状与光强分布变化不敏感，能获得所需要的输出光强分布的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 照明 分区 光学 位相 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元尺寸；②选取光学位相板分区的大小；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板中一个分区的初始位相赋值；⑤采用迭代算法并进行离散化处理，得到该分区的位相分布；⑥逐一对每一个分区重复步骤④和步骤⑤，得到每个分区的位相分布，并组合在一起得到整体位相分布；⑦设计结果的评估。
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