[发明专利]超声波清洗线无效
| 申请号： | 201110048882.5 | 申请日： | 2011-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102139272A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人： | 孙高 |
| 地址： | 215618 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗效果好、不需要专门的摆放人员的超声波清洗线，包括：机架，机架上设置有清洗池及与清洗池相配合的超声波震动盒，所述超声波震动盒的震动面上设置有至少一对导槽，所述的机架上正对着每个导槽分别设置有用于夹持并输送待清洗片材的上、下输送带，其中，靠近震动面的上输送带或下输送带放置在相应的导槽中，并且其迎物面高于震动面，使得待清洗的片材紧挨着震动面。本发明主要用于硅片的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
超声波清洗线，包括：机架，机架上设置有清洗池以及与清洗池相配合的超声波震动盒，其特征在于：所述超声波震动盒的震动面上设置有至少一对导槽，所述的机架上正对着每个导槽分别设置有用于夹持并输送待清洗片材的上、下输送带，其中，靠近震动面的上输送带或下输送带放置在相应的导槽中，并且其迎物面高于震动面，使得待清洗的片材紧挨着震动面。
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