[发明专利]一种基于柔性衬底的固态超级电容器及其制作方法无效
| 申请号： | 201110051853.4 | 申请日： | 2011-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN102176378A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 丁士进;李连杰 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01G9/004 | 分类号： | H01G9/004 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用柔性材料作为衬底的固态超级电容器。本发明所公开的固态超级电容器，在获得高能量密度和高功率密度的同时，制作工艺简单，成本较低，而且重量轻，可以卷折。该固态超级电容器的制作方法包括：（1）在柔性衬底上淀积一层黏附剂；（2）在黏附剂上淀积一层金属铝膜；（3）对铝膜进行两次阳极氧化得到单通氧化铝模板；（4）在氧化铝模板孔隙的表面淀积一层金属作为下电极；（5）在下电极表面淀积一层绝缘介质；（6）在绝缘介质表面淀积一层金属作为上电极；（7）在上电极表面淀积一层金属作为顶部集流体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 衬底 固态 超级 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性衬底的固态超级电容器，其特征在于，以柔性材料作为衬底，在该衬底上淀积有一层黏附剂，黏附剂层上为单通阳极氧化铝模板，在阳极氧化铝模板的孔隙中依次淀积有底层金属作为下电极、中间绝缘介质层、顶层金属作为上电极，在顶层金属表面淀积有一层金属作为顶部集流体，从而形成MIM电容结构。
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