[发明专利]连续扩散处理装置

摘要

本发明提供一种连续扩散处理装置，在输送被处理件时，能够抑制对该被处理件的处理质量造成坏影响的粉尘的产生。所述连续扩散处理装置包括：输送台(50)，装载多张板状的被处理件(W)；筒形的加热炉(1)，从送入输送台(50)的送入部向送出该输送台(50)的送出部以直线状延伸；输送装置(2)，将输送台(50)向加热炉(1)内依次送入，并将已在加热炉(1)内输送的输送台(50)依次送出；加热装置(3)，对通过加热炉(1)内的输送台(50)上装载的被处理件(W)进行加热；以及供气装置(41)，向加热炉(1)内提供用于扩散处理的气体。输送台(50)具有利用滚动轴承(60)在加热炉(1)的底面上滚动的车轮部(52)。

主权项

一种连续扩散处理装置，其特征在于包括：输送台，装载多张处于垂直立起状态的板状的被处理件；筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；以及供气装置，向所述加热炉内提供用于扩散处理的气体，所述输送台具有车轮部，所述车轮部利用滚动轴承在所述加热炉的底面上滚动。