[发明专利]一种真空泵用排气装置有效
| 申请号： | 201110052774.5 | 申请日： | 2011-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN102654117A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张振厚;王光玉;秦柏林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空泵设备，具体地说是一种真空泵用排气装置，包括外罩、排气管、传输管及进气法兰，其中排气管设置在外罩内，排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管安装在外罩内，在外罩的外表面设有进气法兰，该进气法兰的一端与真空泵相连，另一端与外罩的内部连通；由进气法兰进入外罩内的气体经传输管、通过排气管排出至尾气处理装置。本发明使真空泵排出气体在外罩内迂回流动，先通过传输管后再由排气管3排出至尾气处理装置，使气体中含有的粉尘落到外罩底部，降低了排出气体中的粉尘含量，避免工艺制程中产生粉尘颗粒堵塞排气口，延长机组维护时间，降低了大抽速干泵机组噪音。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 排气装置 | ||
【主权项】：
一种真空泵用排气装置，其特征在于：包括外罩(5)、排气管(3)、传输管(4)及进气法兰(8)，其中排气管(3)设置在外罩(5)内，排气管(3)的顶端由外罩(5)穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管(4)安装在外罩(5)内，在外罩(5)的外表面设有进气法兰(8)，该进气法兰(8)的一端与真空泵相连，另一端与外罩(5)的内部连通；由进气法兰(8)进入外罩(5)内的气体经传输管(4)、通过排气管(3)排出至尾气处理装置。
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