[发明专利]一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器

摘要

本发明涉及一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，属于纳米形貌测量技术领域。由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成，其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光，包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2。本传感器结构简单、关键部件价格低廉，以全息激光元件为核心，提出复合式全息激光纳米形貌测量传感器设计结构，将测量范围提升与测量精度的保持有机地结合起来，可以有效地利用该传感器配合测量系统提升系统测量的自动控制水平，同时本传感器具有视频监视功能，可以满足多种场合的现场需要。

主权项

一种复合式全息激光纳米形貌测量传感器，由全息激光读数头1、全息激光读数头2、光学组件、显微光学物镜头、测量样板、电气测量系统、CCD摄像机和监视系统组成；其中光学组件实现光线的滤波、准直与分光，包括光学透镜组1、光学透镜组2、调节透镜1、调节透镜2、调节透镜3、分光镜1和分光镜2；全息激光读数头1发出的光线经光学透镜组1和调节透镜1后变为平行光，然后经分光镜1、分光镜2和显微光学物镜头后聚焦到测量样板；全息激光读数头2发出的光线经光学透镜组2和调节透镜2后变为平行光，然后经分光镜2和显微光学物镜头后聚焦到测量样板；光线从测量样板反射并经显微光学物镜头后分为三路：其中第一路经分光镜2、分光镜1、调节透镜1和光学透镜组1后达到全息激光读数头1，第二路经分光镜2、调节透镜2和光学透镜组2后到达全息激光读数头2，第三路经分光镜2、分光镜1和调节透镜3后到达CCD摄像机；全息激光读数头1和全息激光读数头2测量返回的光学信号，进行光电转换后输出对应电信号并将电信号送入电气测量系统进行后期处理；CCD摄像机将接收到的光学信号转换为数字的视频信号并送入监视系统；上述全息激光读数头1为纳米级形貌的精准测量元件，采用全息激光读数头等焦的工作原理，全息激光读数头2采用全息激光读数头离焦的工作原理。