[发明专利]一种用于激光测振仪的光频式计量测试装置

摘要

本发明涉及一种用于激光测振仪的光频式计量测试装置，属于激光测振仪计量技术领域。由一个或者一个以上的光频调制器、信号发生装置、光学组件、精密姿态调整机构、控制系统及数据采集系统组成，其中光学组件负责光频调制的必要的分光、准直和汇聚。本发明采用光频调制的方法建立激光测振仪的等效测量工作环境，模拟的速度信号范围宽，能满足激光测振仪稳态特性校准的计量要求，解决了目前激光测振仪高速测量模式无法计量的问题；适用于多种激光测振仪的实验室计量校准，实现对激光测振仪的关键技术指标如：灵敏度、幅值线性度、测量限等的标定、验证，保证了激光测振仪测量数据的准确性。

主权项

一种用于激光测振仪的光频式计量测试装置，其外围设备为待测的激光测振仪，其特征在于：由光频调制器、信号发生装置、光学组件、精密姿态调整机构、控制系统及数据采集系统组成；光学组件负责光频调制的必要的分光、准直和汇聚，包括测量光束适配器、分光镜、平面反射镜1、平面反射镜2、平面反射镜3和角度调节器；激光测振仪发出的激光光线经过测量光束适配器和分光镜后进入光频调制器，光频调制器实现激光测振仪的测量光的频率调制，光频调制器的出射光经平面反射镜1、平面反射镜2和平面反射镜3后回到分光镜，之后沿原路经测量光束适配器返回激光测振仪；平面反射镜2上安装有角度调节器，用于调整光线的角度；光频调制器固定安装在精密姿态调整机构上，由精密姿态调整机构中的旋转角度伺服系统来调整光频调制器的姿态并进一步对光频调制器输入和输出光路进行适应性调整；激光测振仪测量返回光线的频率并将其转化为电压信号，将电压信号送入数据采集系统，控制系统控制数据采集系统工作并读取数据采集系统采集到的电压信号；控制系统控制信号发生装置产生满足调整光频频率的调制信号，由信号发生装置将调制信号送入光频调制器用以完成对输入光频信号的频率调制；控制系统控制精密姿态调整机构来实现对光频调制器的姿态调整；上述信号发生装置由信号发生器及功率放大器组成，信号发生器作为光频信号源负责发出调制光频信号，功率放大器将调制光频信号进行放大并送入光频调制器；上述控制系统根据测量需要来控制信号发生装置发出的光频调制信号和精密姿态调整机构的运动，并将获取的数据采集系统的电压信号转换为速度信号，并和控制系统设定的标准模拟速度信号进行比较处理。