[发明专利]压电叠堆式MEMS振动能量采集器及其制备方法有效
| 申请号： | 201110054030.7 | 申请日： | 2011-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102185097A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;唐刚;李以贵;杨春生;柳和生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/22;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电系统技术领域的压电叠堆式MEMS振动能量采集器及其制备方法，该采集器包括：硅固定基座、压电叠堆片和质量块，压电叠堆片的一端固定在硅固定基座上且另一端悬空并与质量块固定连接。本发明通过采用压电叠堆式结构，大大提高了换能元件的能量转换效率，解决了传统的MEMS压电能量采集器输出功率低问题，且详细地给出其制备方法，制备方法简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 叠堆式 mems 振动 能量 采集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压电叠堆式MEMS振动能量采集器，包括：硅固定基座、压电叠堆片和质量块，其特征在于：压电叠堆片的一端固定在硅固定基座上且另一端悬空并与质量块固定连接。
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