[发明专利]一种薄膜太阳能电池衬底的剥离转移方法

摘要

本发明涉及一种薄膜太阳能电池衬底的剥离转移技术，其具体步骤如下：首先在硬性衬底上沉积生长出一腐蚀牺牲层；然后在已生长好的腐蚀牺牲层上沉积生长出太阳能电池层；在太阳能电池层上加热黑蜡融化并自然冷凝至常温后固定在太阳能电池层表面形成支撑层，将带有支撑层的太阳能电池层置于选择性腐蚀液在常温下浸泡6-8小时，使太阳能电池层与硬性衬底之间的腐蚀牺牲层被完全腐蚀去除；从硬性衬底中剥离的太阳能电池层在支撑层的作用下，转移并固定至柔性衬底上；最后采用溶解剂把固定于太阳能电池层表面的支撑层溶解去除。本发明实现太阳能电池的轻量化和柔性化，扩大了薄膜太阳能电池的应用范围。

主权项

一种薄膜太阳能电池衬底的剥离转移方法，其具体步骤如下：(1)、首先在硬性衬底上沉积生长出一层腐蚀牺牲层；(2)、在已生长好的腐蚀牺牲层上沉积生长出一层太阳能电池层；太阳能电池层的底部是隔离层；(3)、在太阳能电池层的表面设一支撑层，加热太阳能电池层和支撑层，支撑层通过受热融化与太阳能电池层连接，停止加热、自然冷凝至常温后固定在太阳能电池层表面；(4)、将带有支撑层的太阳能电池层置于塑料或聚四氟烧杯中，加入选择性腐蚀液浸泡，使太阳能电池层与硬性衬底之间的腐蚀牺牲层被完全腐蚀去除；(5)、从硬性衬底中剥离的太阳能电池层在支撑层的作用下，转移并固定至柔性衬底上；最后采用溶解剂把固定于太阳能电池层表面的支撑层溶解去除。