[发明专利]单晶炉自动引晶系统及方法无效
| 申请号： | 201110054267.5 | 申请日： | 2011-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102134739A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘书强 | 申请（专利权）人： | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 | 代理人： | 伍贤喆;郑明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅领域，尤其涉及一种单晶炉引晶系统及方法。一种单晶炉自动引晶系统，包括炉体、电机、绕线轮、籽晶绳、重锤、红外测温仪、CCD摄像机、加热器和盛料杯，所述的红外测温仪固定在炉体外部对应第一观察窗，所述的CCD摄像机固定在炉体外部对应第二观察窗，所述加热器的控制电源与PLC控制器相连，所述的红外测温仪和CCD摄像机的数据输出端与PLC控制器相连，所述的PLC控制器控制连接电机。本发明单晶炉自动引晶系统及方法通过PLC控制器自动控制引晶过程中的硅液温度和籽晶的生长直径，使得引晶表面更加光滑，位错排除的更好，同时在拉晶过程中晶体不易断线，对员工的操作技能要求低，设备操作性好，能保证大规模的工业生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 自动 晶系 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶炉自动引晶系统，其特征是：包括炉体(1)、电机(2)、绕线轮(3)、籽晶绳(4)、重锤(5)、红外测温仪(6)、CCD摄像机(7)、加热器(8)和盛料杯(9)，所述的电机(2)和绕线轮(3)固定在炉体(1)的顶部，电机(2)的输出轴与绕线轮(3)相连；所述的炉体(1)上开有第一观察窗(11)和第二观察窗(12)，所述的红外测温仪(6)固定在炉体(1)外部对应第一观察窗(11)，所述的CCD摄像机(7)固定在炉体(1)外部对应第二观察窗(12)；所述的重锤(5)设置在炉体(1)内，所述的籽晶绳(4)一端与绕线轮(3)相连，籽晶绳(4)另一端与重锤(5)相连，籽晶绳(4)悬吊住重锤(5)；所述的盛料杯(9)设置在炉体(1)内位于炉体(1)的底部，所述的加热器(8)设置在盛料杯(9)外圈；所述加热器(8)的控制电源与PLC控制器相连，所述的红外测温仪(6)和CCD摄像机(7)的数据输出端与PLC控制器相连，所述PLC控制器控制连接电机(2)。
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