[发明专利]一种导电膜、其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201110055809.0 | 申请日： | 2011-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102676992A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;冯小明 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518052 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于光电材料技术领域，提供了一种导电膜，其制备方法和应用。该导电膜制备方法包括：将三氧化二铝、二氧化硅掺杂于氧化锌混合，烧结作为靶材；所述混合物中三氧化二铝的质量百分含量为0.5％～3％，所述二氧化硅的质量百分含量为0.5％-1.5％，余量为所述氧化锌；将所述靶材装入磁控溅射腔体内，所述磁控溅射中在垂直于溅射粒子飞行方向施加线圈匝数为50N～500N，励磁电流为0.1A～5A的电磁场，得到导电膜。采用本发明的制备方法能够提高导电膜的结晶质量，降低电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种导电膜制备方法，包括如下步骤：将三氧化二铝、二氧化硅掺杂于氧化锌混合，烧结作为靶材；所述混合物中三氧化二铝的质量百分含量为0.5％～3％，所述二氧化硅的质量百分含量为0.5％‑1.5％，余量为所述氧化锌；将所述靶材装入磁控溅射腔体内，抽真空至1.0×10‑3Pa～1.0×10‑5Pa，设置工作压强为0.2Pa～1.5Pa，以氢气与惰性气体混合气体为工作气体，其中，氢气的体积百分含量为1％～10％，气体流量15sccm～25sccm，衬底温度为300℃～650℃，所述磁控溅射中在垂直于溅射粒子飞行方向施加线圈匝数为50N～500N，励磁电流为0.1A～5A的电磁场，得到导电膜。
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