[发明专利]缺陷修正装置以及缺陷跟踪方法有效
| 申请号： | 201110056010.3 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102189331A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 山崎隆一 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/03;B23K26/04;B23K26/06;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷修正装置以及缺陷跟踪方法。已具备获取将对象基板的一部分放大后的图像的摄像部以及根据该摄像部获取到的图像对上述对象基板进行修正处理的缺陷修正部的缺陷修正装置具备：判断部，其判断包含在上述摄像部所获取到的上述图像中的缺陷是否延伸到该图像外；跟踪部，其在上述缺陷延伸到上述图像外的情况下，对延伸到该图像外的部分进行跟踪；以及设定部，其对包含在上述摄像部所获取到的图像中的缺陷设定一个以上的修正区域。上述设定部对在上述跟踪部进行了跟踪之后由上述摄像部获取到的图像中所包含的缺陷设定一个以上的上述修正区域。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 修正 装置 以及 跟踪 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷修正装置，具备摄像部和缺陷修正部，该摄像部获取将对象基板的一部分放大后的图像，该缺陷修正部根据该摄像部获取到的图像对上述对象基板进行修正处理，该缺陷修正装置的特征在于，还具备：判断部，其判断包含在上述摄像部所获取到的上述图像中的缺陷是否延伸到该图像外；跟踪部，其在上述缺陷延伸到上述图像外的情况下，对延伸到该图像外的部分进行跟踪；以及设定部，其对包含在上述摄像部所获取到的图像中的缺陷设定一个以上的修正区域，其中，上述设定部对在上述跟踪部进行了跟踪之后由上述摄像部获取到的图像中所包含的缺陷设定一个以上的上述修正区域。
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