[发明专利]具有恒定测量力的一维扫描测头机构

摘要

本发明涉及一种具有恒定测量力的一维扫描测头机构。本发明包括动板和固定板，所述固定板的上部设置有限位座，限位座的中部设置有限摆杆，动杆的下端部与限摆杆的上端部相对设置，限位座上安装有对称于动杆设置的一对复位簧片和一对传感器支架，复位簧片的上端压合于动杆下端部的两侧，一对传感器支架中的一个上设置有传感器的固定部，传感器的运动部设置于动杆上，位于复位簧片的上端和传感器之间的动杆上设置有衔铁，与之对应的一对传感器支架上分别设置有永磁铁，一对传感器支架的上端部内侧相对设置有限位块。本发明通过负刚度弹性支撑机构的设计，以磁力来平衡随位移增加而不断变大的平行簧片和预压簧片的反作用力，实现测量力的基本恒定。

主权项

一种具有恒定测量力的一维扫描测头机构，包括动板（3）和固定板（8），动板（3）上设置有测针（1）、测头座（2）、动杆（13）和传感器（11），在动板（3）和固定板（8）之间相对设置有一对加强板（5），其特征在于：所述固定板（8）的上部设置有限位座（14），限位座（14）的中部设置有限摆杆，动杆（13）的下端部与限摆杆的上端部相对设置，限位座（14）上安装有对称于动杆（13）设置的一对复位簧片（7）和一对传感器支架（9），复位簧片（7）的上端压合于动杆（13）下端部的两侧，一对传感器支架（9）中的一个上设置有传感器（11）的固定部，传感器（11）的运动部设置于动杆（13）上， 位于复位簧片（7）的上端和传感器之间的动杆（13）上设置有衔铁（10），与之对应的一对传感器支架（9）上分别设置有永磁铁（6），一对传感器支架（9）的上端部内侧相对设置有限位块（12）。