[发明专利]一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法有效
| 申请号： | 201110056408.7 | 申请日： | 2011-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102179000A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李刚;朱壮晖;周亮;赵建龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | A61N1/05 | 分类号： | A61N1/05 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法，该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层，结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极，基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性，且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点，可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性，有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比，具有工艺简单、成本低、可重复性强，设计灵活的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 神经 微电极 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于碳膜的柔性神经微电极，其特征在于：所述的柔性神经微电极以碳膜作为导电材料，以聚合物作为基底材料和绝缘材料。
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