[发明专利]一种六硼化镧阴极的重复激活工艺

摘要

本发明公开了一种六硼化镧阴极重复激活工艺，所述六硼化镧阴极因暴露于大气中的程度不同，其工作的动态真空度将有所区别，本发明根据动态真空系统的真空度变化；采用不同的加热温度及其加热时间，进行六硼化镧阴极重复激活工艺；本发明具体包括六大步骤。所述的六硼化镧阴极重复激活工艺，根据所述六硼化镧阴极暴露于大气中程度的不同，采取相关的操作步骤，恢复所述六硼化镧阴极的电子发射能力；这样一方面能够提高阴极的利用率，进一步提高电子器件阴极的使用寿命；另一方面能够降低电子器件产品的生产要求及生产成本。

主权项

一种六硼化镧阴极重复激活工艺，其特征在于：根据动态真空系统的真空度变化；进行六硼化镧阴极重复激活工艺；具体包括以下步骤；(1)所述六硼化镧阴极因暴露于大气中的程度不同，其工作的动态真空度将有所区别，首先判断动态真空系统的真空度，对所述六硼化镧阴极选择性进行如下步骤的操作；(2)当所述六硼化镧阴极在真空度小于10‑3Pa的动态真空中工作时，所述六硼化镧阴极无需激活，加热至阴极工作温度就可以恢复电子发射；(3)当所述六硼化镧阴极在真空度为10‑1Pa～10‑3Pa的动态真空中工作时，将所述六硼化镧阴极的温度加热至1550℃～1600℃，保温15～25min，然后将所述六硼化镧阴极的温度降至工作温度时，就可以恢复电子发射；(4)当所述六硼化镧阴极在真空度为101Pa～10‑1Pa的动态真空中工作时，将所述六硼化镧阴极温度加热至1550℃～1600℃，保温45～55min，然后将所述六硼化镧阴极温度降至工作温度时，就可以恢复电子发射；(5)当所述六硼化镧阴极在真空度为103Pa～101Pa的动态真空中工作时，将所述六硼化镧阴极温度加热至1650℃～1700℃，保温40～55min，然后将所述六硼化镧阴极温度降至工作温度时，就可以恢复电子发射；(6)当所述六硼化镧阴极在真空度为103Pa以上动态真空中工作时，所述六硼化镧阴极将完全暴露于大气中，此时需要进行以下操作；首先将所述六硼化镧阴极温度加热至1550℃～1600℃，保温15～25min；然后将所述六硼化镧阴极温度再加热至1600℃～1650℃，保温15～25min；然后将所述六硼化镧阴极温度再加热至1650℃～1700℃，保温45～55min；再将所述六硼化镧阴极温度降至1550℃～1600℃，保温30～40min；最后将所述六硼化镧阴极温度降至工作温度就可以恢复电子发射。