[发明专利]一种激光加CCD准直定位装置及方法有效

专利信息
申请号: 201110057063.7 申请日: 2011-03-10
公开(公告)号: CN102280158A 公开(公告)日: 2011-12-14
发明(设计)人: 郭刚;史淑廷;陈泉;沈东军;惠宁;刘建成 申请(专利权)人: 中国原子能科学研究院
主分类号: G21K5/00 分类号: G21K5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 102413*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种激光加CCD准直定位装置和方法,该装置包括大靶室、小靶室、T3靶室,大靶室与T3靶室之间、T3靶室与小靶室之间分别通过束流管道进行连接,大靶室中设置有样品架,大靶室后方设有准直望远镜,特别是该装置同时设有激光器和CCD,激光器采用固定偏心的方式安装在小靶室中,CCD通过CCD支架安装在大靶室入口的上方。激光器和CCD的结合使用使对中操作更准确,解决了单纯用CCD对中的视角位置偏差问题;由于增加了激光亮度调节功能,在大靶室不同亮度时,都很容易看清激光点。使用本发明进行准直定位,免去了电动平移台,减小了故障发生率,克服了以往激光对中法中的机械结构复杂、角度引起的位置偏差大等缺点。
搜索关键词: 一种 激光 ccd 定位 装置 方法
【主权项】:
一种激光加CCD准直定位装置,包括大靶室(3)、小靶室(4)、T3靶室(14),所述的大靶室(3)与T3靶室(14)之间、T3靶室(14)与小靶室(4)之间分别通过束流管道(15)进行连接,大靶室(3)中设置有样品架(9),大靶室(3)后方设有准直望远镜(8),其特征在于:该装置同时设有激光器(1)和CCD(2),所述的激光器(1)采用固定偏心的方式安装在小靶室(4)中,CCD(2)通过CCD支架(13)安装在大靶室(3)入口的上方。
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