[发明专利]压电薄膜、压电器件、液体喷射装置、及制备压电薄膜的方法

摘要

压电薄膜、压电器件、液体喷射装置、及制备压电薄膜的方法。一种压电薄膜，所述压电薄膜通过汽相沉积方法在基板表面上形成，没有产生晶粒边界，该晶粒边界基本上平行于基板表面，并且是由层叠引起的。构成压电薄膜的每个晶体的(100)平面的法线与基板表面法线的倾斜角度不小于6°且不大于36°。

主权项

一种压电薄膜，该压电薄膜通过汽相沉积方法在基板表面上形成，没有产生晶粒边界，该晶粒边界平行于基板表面，并且是由层叠所引起的，其中构成压电薄膜的每个晶体的(100)平面的法线与基板表面法线的倾斜角度不小于6°，且不大于36°，其中构成压电薄膜的晶体是柱状晶体，柱状晶体朝压电薄膜的厚度方向延伸，且所述柱状晶体的平均柱直径不小于30nm且不大于1μm；其中压电薄膜包括至少一种由Aa(Zrx,Tiy,Mb‑x‑y)bOc所表示的钙钛矿氧化物，其中A表示至少一种占据A部位、且包括Pb的元素；M表示至少一种金属元素；0<x<b,0<y<b,0≤(b‑x‑y)；并且a:b:c的比的范围应满足能够得到钙钛矿型结构，而1:1:3为标准比，并且其中占据A部位的Pb组分少于1.10。