[发明专利]检测机台、检测方法与检测系统

摘要

本发明公开一种检测机台、检测方法与检测系统。检测机台适于对发光元件进行光学及电性检测。此检测机台包括基板平台、探针机构、加热装置、冷却装置、影像感测装置、感温装置以及移动台。探针机构适于往基板平台靠近而与发光元件接触。加热装置适于加热发光元件以使发光元件维持于第一温度范围内。冷却装置冷却发光元件以使发光元件维持于第二温度范围内。影像感测装置感测发光元件产生的发光影像。感温装置感测发光元件目前的温度。影像感测装置装设于移动台上，其中移动台适于移动影像感测装置。本发明也提供一种检测方法与检测系统适用于上述检测机台。

主权项

一种检测机台，适于对发光元件进行光学及电性检测，所述检测机台包括：基板平台，其中所述发光元件配置于所述基板平台上；探针机构，设置于所述基板平台上方，且所述探针机构适于往所述基板平台靠近而与所述发光元件接触；加热装置，设置于所述基板平台的下方并适于加热所述发光元件，以使所述发光元件维持于一第一温度范围内，其中当所述发光元件处于所述第一温度范围内时，与所述发光元件接触的所述探针机构适于传递一第一驱动信号至所述发光元件，以驱动所述发光元件；冷却装置，设置于所述基板平台的下方并适于冷却所述发光元件，以使所述发光元件维持于一第二温度范围内，其中当所述发光元件处于所述第二温度范围内时，与所述发光元件接触的所述探针机构适于传递一第二驱动信号至所述发光元件，以驱动所述发光元件；影像感测装置，设置于所述发光元件的上方并适于感测所述发光元件被驱动时所产生的一发光影像；感温装置，设置于所述发光元件的上方，用以感测所述发光元件目前的一温度；以及移动台，设置于所述发光元件的上方，且所述影像感测装置装设于所述移动台上，其中所述移动台适于移动所述影像感测装置。