[发明专利]线锯装置以及使用该线锯装置的晶片制造方法

摘要

本发明提供一种线锯装置以及使用该线锯装置的晶片制造方法，所述线锯装置将由结晶块构成的工件切断成没有锯痕或碎屑的多个晶片。该线锯装置具有线保持辊(120、130)以及辅助辊(140)，线保持辊(120、130)在外周设有对用于切断工件(W)的线(110)进行保持的线保持部件，辅助辊(140)在外周设有对用于切断工件的线进行保持的线保持部件，在设置于这些辊的外周的线保持部件的外周面，隔开预定间隔地形成有多条防止线偏移用的槽，该线锯装置具备辅助辊位置调整构件，该辅助辊位置调整构件调整辅助辊相对于线保持辊的凸出量，以使从各线保持辊的线保持部件的槽绕挂于辅助辊的线保持部件的槽的线构成的角为固定的角度。

主权项

一种线锯装置，其为将工件切断成多个板状的晶片的线锯装置，所述工件的长边方向的截面形成为大致圆形形状或大致方形形状，所述板状的晶片在所述工件的长边方向具有预定的厚度，所述线锯装置的特征在于，该线锯装置具有：至少两个线保持辊，所述线保持辊彼此对置配置；以及辅助辊，所述辅助辊配置于所述线保持辊之间，并且配置成：使与所述工件的切断开始位置相接触的部分的各线比张紧于所述辊的保持部之间的状态朝向所述工件侧凸出相同的量，所述两个线保持辊和辅助辊的外周具备的线保持部件在外周面隔开预定间隔地形成有多条防止线偏移用的槽，所述槽用于保持切断所述工件的线，并且将所述线保持成这样的状态：所述线以与所述切断后的晶片的厚度对应的方式并排设置有多根，并且该线锯装置具备辅助辊位置调整构件，该辅助辊位置调整构件用于调整所述辅助辊相对于线保持辊的凸出量，以使从所述各线保持辊的线保持部件的槽绕挂于所述辅助辊的线保持部件的槽的线相对于连结所述两个线保持辊的旋转中心轴线的直线构成的角为恒定的角度。