[发明专利]一种水汽透过率的测试方法

摘要

本发明涉及一种水汽透过率的测试方法，可用于封装薄膜的检测，尤其涉及有机电致发光器件的薄膜封装工艺及测试，是一种分子湿度计方法。本测试方法原理是利用有机材料对水吸收后会引起其光致发光光谱的变化，通过定量分析有机材料光致光谱的变化可以得到薄膜的透水率。该方法的步骤是：首先在衬底（玻璃基板，柔性基板及其他）上制备出有机功能层；在有机层上沉积封装薄膜；然后，测试有机材料的光致发光光谱随时间的变化；根据得到的光谱与时间数据，计算出封装薄膜的水汽透过率。

主权项

1.一种水汽透过率的测试方法，其特征在于测试步骤如下：A.   准备好基板，并在基板上利用真空蒸镀或者等离子体增强化学气相沉积或者磁控溅射的方法沉积一层易与水汽发生化学反应的厚度为h₀有机材料薄膜，然后在有机材料上再利用真空蒸镀或者等离子体增强化学气相沉积或者磁控溅射的方法制备一层用于阻止有机材料与水汽发生反应的封装薄膜；B.    将制备好的样品取出放在固定湿度和氧含量的测试环境中，测量一次样品的光致发光光谱并保存下来，开始计时；C.   间隔固定的时间对样品进行测量光致光谱测量，并保存获得的光谱曲线数据；D.   假设玻璃基板的水汽透过率为0，并定义有机材料的光致光谱强度为，将进行归一化，那么有机材料在整个光谱范围内的积分强度即为，单位时间单位面积上已与水汽发生化学反应的有机材料的厚度，则单位面积上t小时内封装薄膜的水汽透过率可表示为，其中为水汽透过率系数，大小取决于用于测试的有机材料，为水分子的分子量，为有机材料的分子量。