[发明专利]一种铁电晶体材料的极化方法无效
申请号: | 201110062127.2 | 申请日: | 2011-03-15 |
公开(公告)号: | CN102122105A | 公开(公告)日: | 2011-07-13 |
发明(设计)人: | 范学东;马传龙;王海玲;王宇飞;马绍栋;郑婉华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02F1/35 | 分类号: | G02F1/35;G02F1/05 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及晶体材料后处理技术领域,公开了一种铁电晶体材料的极化方法,包括两步或多步,用于制备出小周期的周期性和准周期性反转铁电晶体;其中,第一步是将高脉冲电压施加到该铁电晶体材料上,实现大周期铁电晶体极化,第二步是在第一步的基础上再极化一次,如果是多步极化,则第三步在第二步的基础上再极化一次,依此类推直到制作出所需要的周期。利用本发明,可制作出均匀的小周期的周期性极化铁电晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 电晶体 材料 极化 方法 | ||
【主权项】:
一种铁电晶体材料的极化方法,其特征在于,该极化方法包括两步或多步,用于制备出小周期的周期性和准周期性反转铁电晶体;其中,第一步是将高脉冲电压施加到该铁电晶体材料上,实现大周期铁电晶体极化,第二步是在第一步的基础上再极化一次,如果是多步极化,则第三步在第二步的基础上再极化一次,依此类推直到制作出所需要的周期。
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