[发明专利]一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂(FNS酸腐蚀液)无效
| 申请号： | 201110062447.8 | 申请日： | 2011-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN102677178A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张昆;刘彩池;渠朝义 | 申请（专利权）人： | 张昆;刘彩池;渠朝义 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24;C23F1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300130 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅太阳电池制造领域，涉及多晶硅太阳电池表面织构技术。按照本发明提供的腐蚀剂，腐蚀剂用酸腐蚀液制成，该腐蚀液是氢氟酸和硝酸及硫酸组成，HNO3作为氧化剂成分，在硅片表面形成SiO2层，HF作为络合剂去除SiO2层。H2SO4作为腐蚀液的催化剂和缓冲剂来控制腐蚀速率，并不影响表面织构。各组分浓度为：氢氟酸的浓度范围为13到17摩尔/升，硝酸的浓度范围为0.9摩尔/升，硫酸的浓度范围为0.5到1.1摩尔/升。本发明提供的该腐蚀剂具有成本低，污染小，易操作，腐蚀所需时间短，宜于大规模生产中应用等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 太阳电池 表面 腐蚀剂 fns 酸腐 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂，其特征在于该腐蚀剂是由氢氟酸、硝酸和硫酸组成的混合溶液，其中，氢氟酸的浓度范围为13到17摩尔/升，硝酸的浓度范围为0.9摩尔/升，硫酸的浓度范围为0.5到1.1摩尔/升。腐蚀温度为5到30摄氏度，腐蚀时间1分钟到15分钟。
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