[发明专利]一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置无效
申请号: | 201110062659.6 | 申请日: | 2011-03-16 |
公开(公告)号: | CN102102219A | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
发明(设计)人: | 张志强;黄振飞 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能单晶炉热场技术领域,特别是一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置,包括冷却器,冷却器为具有锥度的筒状,设置在热屏内侧。冷却器和紧贴热屏内侧,和热屏内侧具有相同的锥度。冷却器通过连接管连接到炉筒上,冷却器的冷却介质进出口均设置在炉筒上,冷却介质通过冷却介质进出口并沿连接管进入冷却器进行冷却。炉筒为一段独立的副炉筒。冷却介质进出口上设置流量调节阀。本冷却装置结构设计合理,杜绝了冷却介质与冷却器之间的传递过程存在泄漏的可能,而且在热场中采用本冷却装置后强化对晶棒的冷却效果,从而增强晶棒纵向温度梯度,提高硅单晶的生长速度,达到快速生长单晶硅棒的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 单晶炉 生长 速度 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置,其特征是:包括冷却器(1),所述的冷却器(1)为具有锥度的筒状,设置在热屏(6)内侧。
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