[发明专利]一种带调焦系统的衍射光学元件无效
| 申请号： | 201110064609.1 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN102681061A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;辛将;朱效立;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带调焦系统的衍射光学元件，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有用于光刻的聚焦衍射光学元件和用于调焦的莫尔光栅组合。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，衍射光学元件所在的位置没有金属挡光层。本发明利用聚焦衍射光学元件进行无掩模光刻，不需要掩模，成本低；利用莫尔光栅组合进行光刻系统的调焦，不仅调焦精度高，而且结构简单，集成度高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 系统 衍射 光学 元件 | ||
【主权项】：
一种带调焦系统的衍射光学元件，其特征在于，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有用于光刻的聚焦衍射光学元件和用于调焦的莫尔光栅组合。
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